高温压力传感器无引线封装研究
作者:
作者单位:

航天长征火箭技术有限公司 北京 100076

作者简介:

许 姣 1987年生,硕士,高级工程师。
赵晨曦 1996年生,硕士,助理工程师。
杨 健 1988年生,博士,工程师。
郝文昌 1989年生,博士,工程师。
王 建 1982年生,博士,研究员。
尹玉刚 1982年生,硕士,研究员。

通讯作者:

中图分类号:

TP212;TN305

基金项目:

国家重点研发项目(2012YFB3203300)


Research on leadless packaging for high temperature pressure sensor
Author:
Affiliation:

Aerospace Long March Launch Vehicle Technology CO.,LTD, Beijing 100076, China

Fund Project:

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    摘要:

    针对高温压力传感器有引线封装在恶劣环境下的弊端,本文对无引线封装进行研究。首先,对无引线封装结构进行设计,并明确了适用无引线封装的高温压力敏感芯片结构;其次,研究了耐高温低应力气密封装工艺、低应力黏片工艺、无引线电气互联工艺,并实现工艺兼容。最后,将该无引线封装结构应用于高温压力敏感芯片,评估无引线封装效果。经测试,无引线封装结构漏率为10E-8 Pa·L/s,工作温度达300 ℃。本文的研究将拓展高温压力传感器应用领域,提高传感器恶劣环境的适应性及可靠性。

    Abstract:

    In view of the disadvantages of high temperature pressure sensor with lead packaging in harsh environment, this paper researches studies on the leadless packaging. Firstly, the leadless packaging structure is designed and the high temperature pressure sensor chip which is suitable for leadless packaging is clarified. Secondly, the processes such as high temperature low-stress hermetic packaging, low-stress adhesive for chip and leadless electrical connection are studied, and the compatible processes are realized. Finally, the leadless packaging is applied to high temperature pressure sensor chip, and the effect of the packaging is evaluated. The experimental results show that the leadless packaging’s leak rate is 10E-8 Pa·L/s and the working temperature is 300 ℃. The research presented in this paper not only will expand the application field of high temperature pressure sensor but also will improve its adaptability and reliability.

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    引证文献
引用本文

许姣,赵晨曦,杨健,郝文昌,王建,尹玉刚.高温压力传感器无引线封装研究[J].遥测遥控,2023,44(6):126-131.

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  • 收稿日期:2023-08-09
  • 最后修改日期:2023-09-08
  • 录用日期:
  • 在线发布日期: 2023-11-27
  • 出版日期:
  • 优先出版日期: 2023-11-27