1.重庆大学光电工程学院 重庆 400030;2.重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室 重庆400030;3.重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆 400030
周原媛 1997年生，硕士研究生，主要研究方向为微型扫描光栅微镜结构设计。
袁幸权 1999年生，硕士研究生，主要研究方向为微型扫描光栅微镜控制系统设计。
温 泉 1983年生，教授，博士生导师，主要研究方向为基于谐振机理的微纳器件与微系统（微型环境能量收集器，微型压电传感器与执行器和微型扫描光栅微镜）等基础理论与关键技术研究。
卢国凤 1999年生，硕士研究生，主要研究方向为表面等离子激元耦合器设计。
李东玲 1982年生，高级工程师，硕士生导师，主要研究方向是先进微纳加工技术、新型智能传感器、光电功能薄膜及器件。
温泉（quan.wen@cqu.edu.cn）
TH74;O342
重庆市自然科学基金面上项目（cstc2020jcyj-msxmX0563）；重大科学仪器设备开发（2018YFF0011200）
1.College of Optoelectronic Engineering, Chongqing University, Chongqing 400030, China;2.National Key Laboratory of Fundamental Science of Novel Micro/Nano Device and System Technology,Chongqing University, Chongqing 400030, China;3.Key Laboratory of Optoelectronic Technology and System of the Education Ministry of China, Chongqing University,Chongqing 400030, China
周原媛,袁幸权,温泉,卢国凤,李东玲.基于FR4的多自由度电磁式扫描光栅微镜结构设计[J].遥测遥控,2023,44(4):109-116.
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